MTI Instruments半自动计量系统

发布时间：2021-07-01 17:08:13 浏览：851

MTI Instruments半自动计量系统是一种用于半导体和半绝缘质料的台式/台式半主动晶圆测量体系。基于 MTII 独有的推挽电容技术，MTI Instruments半自动计量系统供应完备的晶圆外貌扫描，用于厚度、厚度变更、蜿蜒、翘曲、sori、地位和整体平坦度。用户界说且合乎 ASTM/SEMI 的扫描模式用于生产完备的 3 维 (3D) 晶圆图像。

MTI Instruments半自动计量系统定制的数据汇报可用于稽查测量的每个晶片的表格数据，并疾速、放松地导出到您的电子表格法式。

晶圆规格直径： 150 毫米、200 毫米、300 毫米；

质料：全部半导体和半绝缘晶片，包含 Si、GaAs、Ge、SiC、InP；

外貌：切割、研磨、蚀刻、抛光、图案化；

平头/缺口：全部 SEMI 规范平头或缺口；

电导率： P 或 N 型；

半自动计量系统.png

特性

怪异的 MTI 电容传感器，具有隽拔的精确性和可重叠性；

完备的 1000 µm 厚度测量局限，无需从新校准；

测量厚度、TTV、蜿蜒度、翘曲度和地位以及整体平坦度的Windows ®用户界面；

ASTM 规范测量；

SEMI S2-0200 健康和安全合规计划；

SEMI S8-0999 合乎人体工程学的计划；

测量全部质料，包含 Si、GaAs、Ge、InP、SiC ***只有体电阻率小于 20K Ohm/cm；

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或联系我们的销售工程师：0755-83050846 QQ: 3312069749

	规格	范围	准确性
厚度	ASTM F533	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
电视	ASTM F657	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
弓	ASTM F534	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
经	ASTM F1390	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
索里	ASTM F1451	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
平整度（现场）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米
平整度（全球）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米

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